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内层电路形成 Pattern imaging(Inner layer)

蚀刻铜箔形成电路的一道工序,在内层原材料上形成电路(曝光,成像,蚀刻)

工序步骤 :
前处理 (Pre-treatment) > 层压 (Laminating) > 曝光 (Exposure) > 成像 (Developing) > 蚀刻 (Etching) > 去膜 (Stripping)
前处理
去除(抛光/脱脂处理)Core上出现的氧化膜或指纹等,在铜箔表面制造粗糙度,令Dry film(干膜)粘附力强
Laminating
令基本表面成型的工序,用基本上加热的辊滚压并粘附感光Dry film。
曝光
在镀有Dry film的基板上,配合Work film(工作掩膜),曝定量的光量,把单体反应为聚合体,完成成像。令需要UV的电路部分硬化。
成像
在曝光过程中,使用化学方法(Na2CO3)去除不受紫外线照射部分的Dry film。
蚀刻
原材料的铜箔上完成成像操作工序后,除了渡过干膜的部分以外,即电路成像部分,是用化学方法(FeCl3)去除该部分暴露在外的铜箔。
去膜
在电路形成后,使用化学方法(NaOH)去除基板上剩余的Dry film。(本公司设备是连成像、蚀刻、去膜一同处理的生产线,被统称为D.E.S。
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产品图片
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工序图片(代表设备)